SMC VY1 系列 E-P HYREG 電氣比例閥為高精度電子調(diào)壓閥，通過電氣信號實現(xiàn)精密壓力調(diào)節(jié)，適用于半導(dǎo)體制造等高精度工藝。

• 高精度調(diào)壓：電子調(diào)壓方式，壓力控制精度高
• E-P HYREG：電氣-氣動混合調(diào)節(jié)，穩(wěn)定性優(yōu)異
• 半導(dǎo)體適用：滿足半導(dǎo)體制造等高精度工藝要求
• 模擬/數(shù)字接口：支持多種電氣信號輸入方式