·高溫環(huán)境適應(yīng)性,最高可到140℃℃;
·高精度和快速響應(yīng);
·多種氣體兼容性,支持多達(dá)100種氣體的校準(zhǔn),適應(yīng)各種工藝氣體的需求;
·耐腐蝕設(shè)計(jì);
·提供數(shù)字化接口(如RS485或EtherCAT),便于與工藝設(shè)備集成
HCE系列高溫質(zhì)量流量控制器(MFC)是一款專為高溫環(huán)境下氣體流量精確控制設(shè)計(jì)的設(shè)備,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造領(lǐng)域。