FCE系列氣體質(zhì)量流量控制器，擁有RS485/Profib-us/DewiceNet/EtherCAT/模擬量等多樣化的通訊方式可為客戶提供更加靈活的選擇。FCE系列嚴(yán)格謹(jǐn)循SEMI相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)，氣體接觸面粗糙度均達(dá)到Ra0.1，擁有更加卓越的耐腐蝕性能。

• 控制閥類型：常閉
• 關(guān)閉時流量：≤2% F.S.
• 流量控制范圍：2~100% F.S.
• （補(bǔ)充參數(shù)）：+0.25% F.S.(0≤25% F.S.)、+1% F.S.(0>25% F.S.)
• 流量精度：線性 S+0.5% F.S.