適用于高級(jí) OEM 氣體系統(tǒng)的理想產(chǎn)品
高靈敏度壓力控制增強(qiáng)質(zhì)量流量控制器 (MFC) 性能
在廣泛應(yīng)用中提供優(yōu)越性能
流量:2SCFM 至 120SLPM
在微型元件中提供出色的壓降和重復(fù)性
膜片與閥體之間采用金屬對(duì)金屬設(shè)計(jì),實(shí)現(xiàn)一流的密封性
內(nèi)部表面光潔度為 10Ra 或 5Ra 微英寸
符合 SEMI F19 和 SEMI 模塊化接口規(guī)格

彈簧無(wú)螺紋調(diào)壓器.jpg?orientation=landscape&width=600&height=450)